A indústria de semicondutores é um mercado em rápido crescimento, com demandas cada vez maiores por desempenho e redução de custos de produção em seus produtos, como células fotovoltaicas, microchips, LEDs e lasers. Os processos de fabricação desses produtos envolvem a obtenção de um substrato semicondutor puro com uma rede cristalina o mais perfeita possível e seu posterior processamento. Esse processamento inclui tratamento térmico e deposição de camadas em wafers.
A temperatura do processo é um parâmetro crucial na produção de semicondutores. Tanto no crescimento de cristais quanto no processamento de wafers, é fundamental manter faixas de temperatura específicas para evitar defeitos e garantir alta produtividade. A medição de temperatura em tempo real é, portanto, essencial. A medição de temperatura óptica com pirômetros é o método ideal para determinar de forma rápida e sem contato a temperatura exata do processo a partir da radiação infravermelha dos semiconductores. As tarefas de medição exigentes e variadas requerem soluções de pirômetros perfeitamente adaptadas.
Pirômetros no setor da indústria semicondutora
Relatório de aplicação para medição de temperatura sem contato em crescimento de cristais e processamento de wafer
Relatório de aplicação: Setor da indústria semicondutora
Caraterísticas
- Amplas faixas de medição graças ao processamento de sinal híbrido com alta resolução de sinal constante em toda a faixa de medição
- Sistemas óticos de precisão com revestimento anti-reflexo de banda larga para alta resolução óptica
- Calibração específica na faixa da temperatura do processo
- Estabilidade a longo prazo extremamente alta graças aos sensores sem desvios, baseados na tecnologia de luz contínua
